Технический параметр

Значение

Разрешение

3,0 нм при 30 кВ в высоком вакууме, низком вакууме и ESEM

7,0 нм при 3 кВ (BSED, замедление пучка)

Стандартные детекторы

ETD, низковакуумный SED (LVD), газовый SED для режима ESEM (GSED), ИК-камера

Дополнительные детекторы

Камера Thermo Scientific Nav-Cam+, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC и т.д.

Технология ChemiSEM (опционально)

Доступно количественное окрашивание изображений SEM в реальном времени на основе энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS). Включены Point & ID, linescan, region, карты элементов и точная количественная оценка.

Режим низкого вакуума

До 2600 Па (H2O) или 4000 Па (N2)

Столик держателя образцов

5-осевой моторизованный эуцентрический стенд, 110 x 110 мм2 с диапазоном наклона 105°. Максимальный вес образца: 5 кг в ненаклоненном положении.

Стандартный держатель для образцов

Стандартный держатель SEM с несколькими образцами уникальным образом монтируется непосредственно на столик держателя, вмещает до 18 стандартных ступок (≈ 12 мм), не требует инструментов для установки образца

Камера

Внутренняя ширина 340 мм, 12 портов, три одновременных детектора EDS, два под углом 180°, копланарные датчики EDS/EBSD, ортогональные к оси наклона столика

Технический параметр

Значение

Разрешение электронного пучка

Параметры электронного пучка

Ионная оптика

Детекторы

Стол и образец

Технический параметр

Значение

Разрешение электронного луча

Стандартные детекторы

ETD, TLD, MD, ICD, измерение тока луча, Nav-Cam+, ИК-камера

Дополнительные детекторы

Дополнительные детекторы EDS, EBSD, RGB катодолюминесценция, Raman, WDS и другие

Сдвиг напряжения на столике

До -4000 В, входит в стандартную комплектацию

Очистка образца

Встроенный плазменный очиститель, включенный в стандартную комплектацию

Манипуляция образцом

Verios 5 US

Verios 5 HP

Камера

Внутренняя ширина 379 мм, 21 порт

Технический параметр

Стандартные детекторы

Дополнительные детекторы

Технология ChemiSEM (опционально)

Смещение напряжения (замедление луча, опционально)

Режим низкого вакуума

Манипулятор

Стандартный держатель образца

Камера

In-Situ аксессуары (опционально)

Варианты программного обеспечения

Apreo 2 S

Apreo 2 C

Разрешение

0,9 нм при 1 кВ

0,8 нм при 1 кВ (замедление луча)

1,0 нм при 1 кВ, рабочее расстояние 10 мм (замедление луча)

0,8 нм при 500 В (замедление луча)

1,2 нм при 200 В (замедление луча)

1,2 нм при 1 кВ

1,0 нм при 1 кВ (замедление луча)

1,2 нм при 500 В (замедление луча)

Стандартные детекторы

ETD, T1, T2, T3, IR-CCD, Nav-Cam+

ETD, T1, T2, IR-CCD, Nav-Cam+

Технический параметр

Значение

Камера для образцов:

Размер камеры: 280 мм внутренняя ширина;

Перемещение столика: 120*120 (XY);

Вращение: n*360°;

Наклон: -15°/+90°;

Максимальный вес образца: 10 кг (с перемещением по XY);

Максимальная высота образца: 128 мм.

Рабочее ускоряющее напряжение:

200В — 30кВ.

Разрешение:

3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;

3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac (опция);

8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;

7 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac + Beam Deceleration (опция).

Технический параметр

Значение

Источник

X-FEG (пушка с экстремально высокой яркостью поля эмиссии) или холодная пушка с низким энергетическим разбросом (E-CFEG)

Ускоряющее напряжение

80–300 кВ

Крио-автозагрузчик

Автоматизированная и защищенная от загрязнений загрузка кассет (до 12 сеток)

Программное обеспечение управления температурой

Включает автозаполнение жидким азотом и планирование охлаждения

Линзы

Автоматические конденсорные, объективные и SA апертуры

Трёхлучевая система конденсорных линз для автоматизированной, непрерывной и параллельной подсветки образцов

Симметричная объективная линза C-TWIN с постоянной мощностью и широким зазором полюсов (11 мм)

Стол

Компьютеризированный четырёхосевой стол для образцов с ±70-градусным наклоном альфа

Крио-стол с держателем с одной осью для оптимизированной стабильности и предотвращения дрейфа

Изображение

Вращение свободное изображение при изменении увеличения

Мониторинг продвинутой производительности

Самооценка состояния оптического микроскопа, совмещённая с автоматическим выравниванием, обеспечивает идеальные экспериментальные условия

Требования к размерам помещения (Д × Ш × В)

17’ × 22’ × 10’

AFIS (смещение изображения без аберраций)

Увеличение производительности с более короткими временами релаксации при перемещении без комы между отверстиями сетки

FFI (изображение без ободка)

Увеличение производительности с множественными снимками на одно отверстие сетки

Программное обеспечение Thermo Scientific EPU 2

Автоматический скрининг образцов и сбор данных

Функциональность EPU Multigrid

Дополнительные компоненты

Три монитора диагональю 24 дюйма

Ручные панели для размещения в пределах 15 м от колонки или расширение до 300 м (опционально)

Детекторы (опционально)

Прямой электронный детектор Falcon 4

Камера Thermo Scientific Ceta™ D

Камера Thermo Scientific Ceta 16M

Детекторы HAADF STEM • Детекторы BF/DF по оси

Энергетический фильтр (опционально)

Фильтр для изображения Selectris

Фильтр для изображения Selectris X

Энергетический фильтр Gatan BioContinuum

Другие опции

Корректор изображения Cs

Решение для фазовых пластин Thermo Scientific

Технический параметр

Значение

Источник

X-FEG (пушка с экстремальной яркостью) или E-CFEG (холодная пушка с низким энергетическим разбросом)

Ускоряющее напряжение

Гибкое ускоряющее напряжение от 80 до 200 кВ

Крио-автозагрузчик

Крио-автозагрузчик для автоматической и бесконтактной загрузки кассет, содержащих до 12 авто сеток

Линзы

Автоматические конденсаторные, объективные и SA апертуры

Симметричная объективная линза с постоянной мощностью (минимизация аберраций изображения и гистерезиса линз при переключении режимов)

Симметричная объективная линза C-TWIN спостоянной мощностью и широким зазором полюсов (11 мм)

Изображение

Изображение без вращения при изменении увеличениях

Стол

Компьютеризированный стол для образца с четырьмя осями и наклоном альфа ±70°

Крио-стол с держателем с одной осью

Требования к установке

Температура окружающей среды: 18°C до 23°C

Высота двери: 2.32 м (опционально может быть снижена до 2.0 м)

Ширина двери: 0.99 м

Высота потолка: 2.80 м

AFIS (изображение без аберраций при смещении)

Увеличение производительности с более короткими временами релаксации при перемещении комы между отверстиями сетки

FFI (изображение без ободка)

Для множественных снимков на одно отверстие сетки

Программное обеспечение Smart EPU

Автоматический скрининг образцов и сбор данных

Открытый интерфейс прикладного программирования (API)

Функциональность EPU MultiGrid (опционально)

Программное обеспечение Smart EPU с монитором качества EPU (EQM) (опционально)

Программное обеспечение Smart EPU с интегрированным CryoSPARC Live (опционально)

Программное обеспечение для томографии (опционально)

Программное обеспечение Tomography 5

Программное обеспечение Tomo Live

Программное обеспечение Thermo Scientific Inspect 3D

Пакет MicroED (опционально)

Программное обеспечение Thermo Scientific EPU-D

Модифицированный лучевой стоп, оптимизированный для MicroED

Оптимизированный набор апертур C2/SA

Серия линз MicroED

Система проекции с поворотом на 90°

Камера Thermo Scientific Ceta-D – Оптимизирована для дифракционных применений: увеличенная точность и чувствительность – Совместима с требованиями скрининга анализа отдельных частиц – Совместима с нижним фильтром (втягивающимся)

Дополнительные компоненты

Основной блок управления, включая два 24” монитора, которые должны быть размещены в пределах 10 м от колонки

Детекторы (опционально)

Прямой детектор электронов Falcon 4i • Камера Ceta-D • Камера Ceta-M • Детекторы STEM HAADF* • Детекторы BF/DF по оси* Энергетический фильтр (опционально): • Фильтр для изображения Selectris • Фильтр для изображения Selectris X

Технический параметр

Разрешение точки TEM

Разрешение STEM HAADF

Диапазон увеличения TEM

Диапазон увеличения STEM

Максимальный угол наклона (на столике образца)

С коррекцией зонда

С коррекцией зонда и изображения + X-FEG/Mono

С коррекцией зонда и изображения + X-FEG/UltiMono

С коррекций зонда и изображения + X-CFEG

Варианты конфигурации источника электронов

Технический параметр

Значение

Разрешение линии ПЭМ

≤0,10 нм

Информационный предел ПЭМ

≤0,12нм (S-FEG/XFIG) и ≤0,11нм (X-CFG)

Максимальный угол дифракции

24°

Разрешение STEM

≤0,16 нм (S-FEG/XFEG) и ≤0,14 нм (X-CFEG)

Тип источника

FEG, FEG высокой яркости и полевой источник с холодным катодом (X-CFEG)

Технический параметр

Значение

Источник

X-FEG (пушка с экстремально высокой яркостью поля эмиссии) или холодная пушка с низким энергетическим разбросом (E-CFEG)

Ускоряющее напряжение

80–300 кВ

Крио-автозагрузчик

Автоматизированная и защищенная от загрязнений загрузка кассет (до 12 сеток)

Программное обеспечение управления температурой

Включает автозаполнение жидким азотом и планирование охлаждения

Линзы

Автоматические конденсорные, объективные и SA апертуры

Трёхлучевая система конденсорных линз для автоматизированной, непрерывной и параллельной подсветки образцов

Симметричная объективная линза C-TWIN с постоянной мощностью и широким зазором полюсов (11 мм)

Стол

Компьютеризированный четырёхосевой стол для образцов с ±70-градусным наклоном альфа

Крио-стол с держателем с одной осью для оптимизированной стабильности и предотвращения дрейфа

Изображение

Вращение свободное изображение при изменении увеличения

Мониторинг продвинутой производительности

Самооценка состояния оптического микроскопа, совмещённая с автоматическим выравниванием, обеспечивает идеальные экспериментальные условия

Требования к размерам помещения (Д × Ш × В)

17’ × 22’ × 10’

AFIS (смещение изображения без аберраций)

Увеличение производительности с более короткими временами релаксации при перемещении без комы между отверстиями сетки

FFI (изображение без ободка)

Увеличение производительности с множественными снимками на одно отверстие сетки

Программное обеспечение Thermo Scientific EPU 2

Автоматический скрининг образцов и сбор данных

Функциональность EPU Multigrid

Дополнительные компоненты

Три монитора диагональю 24 дюйма

Ручные панели для размещения в пределах 15 м от колонки или расширение до 300 м (опционально)

Детекторы (опционально)

Прямой электронный детектор Falcon 4

Камера Thermo Scientific Ceta™ D

Камера Thermo Scientific Ceta 16M

Детекторы HAADF STEM • Детекторы BF/DF по оси

Энергетический фильтр (опционально)

Фильтр для изображения Selectris

Фильтр для изображения Selectris X

Энергетический фильтр Gatan BioContinuum

Другие опции

Корректор изображения Cs

Решение для фазовых пластин Thermo Scientific

Оптическое увеличение

Диапазон электронного увеличения

Разрешение

Цифровой зум

Камера навигации

Ускоряющее напряжение

Вакуумные режимы

Детектор

Диаметр образца

Высота образца

Оптическое увеличение

Диапазон электронно-оптического увеличения

Разрешение

Цифровой зум

Навигационная камера

Ускоряющее напряжение

Вакуумные режимы

Детектор

Размер образца

Высота образца

Разрешение

Диапазон электронного оптического увеличения

Оптическое увеличение

Ускоряющее напряжение

Вакуумные режимы

Детектор

Диаметр образца

Высота образца

Helios 5 CX

Helios 5 UC

Helios 5 UX

Ионная оптика

Ионная колонна Tomahawk HT с превосходной производительностью высокого тока

Ионная колон Phoenix с превосходными высоковольтными и низковольтными характеристиками

Диапазон тока ионного пучка

1 пА – 100 нА

1 пА – 65 нА

Диапазон ускоряющего напряжения

500 В - 30 кВ

500 В - 30 кВ

Макс. ширина горизонтального поля

0,9 мм в точке совпадения луча

0,7 мм в точке совпадения луча

Минимальный срок службы источника

1000 часов

1000 часов

Двухступенчатая дифференциальная откачка

Коррекция времени полета (TOF)

15-позиционная полоса диафрагмы

Двухступенчатая дифференциальная откачка

Коррекция времени полета (TOF)

15-позиционная полоса диафрагмы

Электронная оптика

Колонна SEM-эмиссии полей Elstar со сверхвысоким разрешением

Колонеа SEM полевого излучения экстремального высокого разрешения Elstar

Объектив с магнитным иммерсионным объективом

Объектив с магнитным иммерсионным объективом

Высокостабильный полевой эмиссионный источник Шоттки для стабильных аналитических токов с высоким разрешением

Высокостабильный полевой эмиссионный источник Шоттки для стабильных аналитических токов с высоким разрешением

Разрешение электронного луча

На оптимальном рабочем расстоянии (WD)

0,6 нм при 30 кВ STEM

0,6 нм при 15 кВ

1,0 нм при 1 кВ

0,9 нм при 1 кВ с замедлением луча*

0,6 нм при 30 кВ STEM

0,7 нм при 1 кВ

1,0 нм при 500 В (ICD)

В совпадающей точке

0,6 нм при 15 кВ

1,5 нм при 1 кВ с замедлением луча* и DBS*

0,6 нм при 15 кВ

1,2 нм при 1 кВ

Пространство параметров электронного пучка

Диапазон тока электронного луча

0,8 пА до 176 нА

От 0,8 пА до 100 нА

Диапазон ускоряющего напряжения

200 В - 30 кВ

350 В - 30 кВ

Диапазон энергии посадки

20 эВ - 30 кЭВ

20 эВ - 30 кЭВ

Максимальная горизонтальная ширина поля

2,3 мм при 4 мм WD

2,3 мм при 4 мм WD

Детекторы

Детектор Elstar in-lens SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE)

Детектор Elstar в колонне SE/BSE (ICD)*

Детектор BSE (MD)*

Детектор Everhart-Thornley SE (ETD)

ИК-камера для просмотра образца/колонны

Высокопроизводительный внекамерный детектор электронов и ионов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE)*

Камера Thermo Scientific Nav-Cam для навигации по образцам*

Выдвижной, низковольтный, высококонтрастный, направленный, твердотельный обратный электронный детектор (DBS)*

Выдвижной детектор STEM 3+ с сегментами BF/DF/ HAADF*

Интегрированное измерение тока луча

Столик образца

Держатель

Гибкая 5-осевая моторизованная основа

Высокоточная пятиосевая моторизованная основа с пьезо-приводной осью XYR

Диапазон XY

110 мм

150 мм

Диапазон Z

65 мм

10 мм

Вращение

360° (непрерывно)

360° (непрерывно)

Диапазон наклона

-15° до +90°

-10° до +60°

Максимальная высота

85 мм до эвцентрической точки

55 мм до эвцентрической точки

Максимальный вес образца

500 г в любом положении До 5 кг при наклоне 0° (применяются некоторые ограничения)

500 г (включая держатель образца)

Максимальный размер

110 мм при полном вращении (возможны более крупные образцы с ограниченным вращением)

150 мм с полным вращением (возможны большие образцы при ограниченном вращении)

Компуцентрическое вращение и наклон

Компуцентрическое вращение и наклон

Характеристика

Значение

Площадь отбора

60 x 60 мм

Тип источника рентгеновского излучения

Монохромированный, микрофокусированный, маломощный Al K-Alpha

Размер пятна рентгеновского излучения

от 10 до 400 мкм (регулируется с шагом 5 мкм)

Тип анализатора

Полусферический анализатор с двойной фокусировкой на 180° и 128-канальным детектором

Профилировавшие по глубине

Источник одноатомных ионов EX06 для определения глубины или двухрежимный источник ионов MAGCIS

Дополнительные принадлежности

ИБП, ISS, КАТУШКИ, рамановский спектрометр iXR, MAGCIS, модуль наклона образца, модуль нагрева образца NX, модуль смещения образца, модуль вакуумной передачи, адаптер для гловбокса

Вакуумная система

Два турбомолекулярных насоса с автоматическим титановым сублимационным насосом и форвакуумным